Sistema di elaborazione laser excimer industriale Integrazione flessibile della linea di produzione e parametri completamente personalizzabili
Dettagli:
| Luogo di origine: | Cina |
| Marca: | OSMANUV |
| Certificazione: | ISO9001 |
| Numero di modello: | Specifica |
Termini di pagamento e spedizione:
| Quantità di ordine minimo: | 1 insieme |
|---|---|
| Prezzo: | Negoziabile |
| Imballaggi particolari: | Imballaggio in legno |
| Tempi di consegna: | 30-45 giorni |
| Termini di pagamento: | T/T |
| Capacità di alimentazione: | Negoziazione |
|
Informazioni dettagliate |
|||
| Voltaggio: | 220 V/380 V | Velocità del trasportatore: | 25 ~ 80m/min |
|---|---|---|---|
| Potenza del motore principale: | 1,5 kW | Larghezza effettiva di livellamento: | 920 mm |
| Materiale di rivestimento: | Materiali Vari | Tipo lampada UV: | Lampada di mercurio |
| Errore di piegatura nel riavvolgimento: | ±0,1 mm | Tipo di asciugatura: | Essiccazione IR |
Descrizione di prodotto
Questo sistema di elaborazione laser excimer industriale è progettato per la microfabricazione ad alta precisione, il ricottamento dei semiconduttori e il disegno di pellicole sottili.Supporta la piena integrazione in linee di produzione automatizzate con monitoraggio in tempo realeIl sistema dispone di una sorgente excimer sigillata a gas con ottica a lunga durata e controllo dei processi assistito dall'IA.
- Unità di sorgente laser excimer
- Modulo di modellazione e omogeneizzazione del fascio
- Stagione di scansione XY ad alta velocità o unità di proiezione della maschera
- Robot di movimentazione del substrato in linea (larghezza del binario personalizzabile)
- Sistema di gestione dei gas di scarico
- PC di controllo del processo con gestore di ricette
| Parametro | Intervallo di valori (standard) | Opzione di personalizzazione |
|---|---|---|
| Lunghezza d'onda | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Commutabile a più lunghezze d'onda (su misura) |
| Energia massima dell'impulso | 0.5 - 1200 mJ | Fino a 2000 mJ (su misura) |
| Frequenza di impulso | 1 - 6000 Hz | Fino a 10 kHz (su misura) |
| Potenza media | 5 - 300 W | Disponibile scalabilità personalizzata |
| Dimensione del raggio (uscita) | 10 × 10 mm | Legno rettangolare fino a 50×50 mm (su misura) |
| Omogeneità del fascio | < ± 3% (σ) | < ± 1% (ottica su misura) |
| Integrazione della linea di produzione | SMEMA/SECS/GEM | Protocollo PLC personalizzato (custom) |
- Acciaio a base di silicio per display avanzati (LTPS)
- MEMS e taglio di wafer a semiconduttore
- Attivazione della superficie del polimero
- Micro-strutturazione dei dispositivi medici
- Perforazione a PCB flessibile
Offriamopersonalizzazione completadi selezione della lunghezza d'onda, energia di impulso, dimensioni del campo di scansione, miscela di gas, metodo di raffreddamento (aria/acqua/chiller) e protocollo di comunicazione della linea di produzione.Su richiesta sono disponibili anche bracci di distribuzione del raggio e involucri di classe 1..
- > 2000 ore di vita del gas (miscela di gas ottimizzata)
- Stabilizzazione energetica integrata (feedback in tempo reale)
- Diagnostica remota e manutenzione predittiva
- Basso costo di proprietà (LOO) con modalità di bypass di risparmio di gas
- Progettazione modulare compatta per la riconfigurazione rapida della linea
- Supporto tecnico 24 ore su 24, 7 giorni su 7 (telefono/remote)
- Installazione in loco e integrazione della linea di produzione
- Formazione personalizzata per i vostri ingegneri
- Garanzia estesa fino a 5 anni
- Programma di rifornimento di gas e di ristrutturazione dell'ottica
- Sigillato in un contenitore protetto dall'umidità
- Casella ottica sigillata sotto vuoto
- Spedizioni via mare o via aerea con tracciamento in tempo reale
- Le casse da esportazione soddisfano la norma ISPM-15







