Sistema di elaborazione laser excimer industriale Integrazione flessibile della linea di produzione e parametri completamente personalizzabili

Dettagli:

Luogo di origine: Cina
Marca: OSMANUV
Certificazione: ISO9001
Numero di modello: Specifica

Termini di pagamento e spedizione:

Quantità di ordine minimo: 1 insieme
Prezzo: Negoziabile
Imballaggi particolari: Imballaggio in legno
Tempi di consegna: 30-45 giorni
Termini di pagamento: T/T
Capacità di alimentazione: Negoziazione
Miglior prezzo Contatto

Informazioni dettagliate

Voltaggio: 220 V/380 V Velocità del trasportatore: 25 ~ 80m/min
Potenza del motore principale: 1,5 kW Larghezza effettiva di livellamento: 920 mm
Materiale di rivestimento: Materiali Vari Tipo lampada UV: Lampada di mercurio
Errore di piegatura nel riavvolgimento: ±0,1 mm Tipo di asciugatura: Essiccazione IR

Descrizione di prodotto

Sistema di elaborazione laser excimer industriale
Integrazione flessibile della linea di produzione e parametri completamente personalizzabili
Visualizzazione del prodotto

Questo sistema di elaborazione laser excimer industriale è progettato per la microfabricazione ad alta precisione, il ricottamento dei semiconduttori e il disegno di pellicole sottili.Supporta la piena integrazione in linee di produzione automatizzate con monitoraggio in tempo realeIl sistema dispone di una sorgente excimer sigillata a gas con ottica a lunga durata e controllo dei processi assistito dall'IA.

Composizione della linea di produzione
  • Unità di sorgente laser excimer
  • Modulo di modellazione e omogeneizzazione del fascio
  • Stagione di scansione XY ad alta velocità o unità di proiezione della maschera
  • Robot di movimentazione del substrato in linea (larghezza del binario personalizzabile)
  • Sistema di gestione dei gas di scarico
  • PC di controllo del processo con gestore di ricette
Parametri tecnici
Parametro Intervallo di valori (standard) Opzione di personalizzazione
Lunghezza d'onda 193 nm / 248 nm / 308 nm Commutabile a più lunghezze d'onda (su misura)
Energia massima dell'impulso 0.5 - 1200 mJ Fino a 2000 mJ (su misura)
Frequenza di impulso 1 - 6000 Hz Fino a 10 kHz (su misura)
Potenza media 5 - 300 W Disponibile scalabilità personalizzata
Dimensione del raggio (uscita) 10 × 10 mm Legno rettangolare fino a 50×50 mm (su misura)
Omogeneità del fascio < ± 3% (σ) < ± 1% (ottica su misura)
Integrazione della linea di produzione SMEMA/SECS/GEM Protocollo PLC personalizzato (custom)
Applicazioni
  • Acciaio a base di silicio per display avanzati (LTPS)
  • MEMS e taglio di wafer a semiconduttore
  • Attivazione della superficie del polimero
  • Micro-strutturazione dei dispositivi medici
  • Perforazione a PCB flessibile
Opzioni di personalizzazione

Offriamopersonalizzazione completadi selezione della lunghezza d'onda, energia di impulso, dimensioni del campo di scansione, miscela di gas, metodo di raffreddamento (aria/acqua/chiller) e protocollo di comunicazione della linea di produzione.Su richiesta sono disponibili anche bracci di distribuzione del raggio e involucri di classe 1..

Caratteristiche chiave
  • > 2000 ore di vita del gas (miscela di gas ottimizzata)
  • Stabilizzazione energetica integrata (feedback in tempo reale)
  • Diagnostica remota e manutenzione predittiva
  • Basso costo di proprietà (LOO) con modalità di bypass di risparmio di gas
  • Progettazione modulare compatta per la riconfigurazione rapida della linea
Supporto e servizi
  • Supporto tecnico 24 ore su 24, 7 giorni su 7 (telefono/remote)
  • Installazione in loco e integrazione della linea di produzione
  • Formazione personalizzata per i vostri ingegneri
  • Garanzia estesa fino a 5 anni
  • Programma di rifornimento di gas e di ristrutturazione dell'ottica
Imballaggio e spedizione.
  • Sigillato in un contenitore protetto dall'umidità
  • Casella ottica sigillata sotto vuoto
  • Spedizioni via mare o via aerea con tracciamento in tempo reale
  • Le casse da esportazione soddisfano la norma ISPM-15
Domande frequenti
Q1: Puoi personalizzare la dimensione della testa laser per una linea di produzione compatta?
Sì, la testa laser e il percorso di consegna del raggio sonoCompletamente personalizzabileper adattarsi agli spazi di linea stretti o dispari.
Q2: Qual è il tempo di consegna per un sistema personalizzato?
Standard: 8-10 settimane; personalizzato: 12-14 settimane, con convalida del progetto.
D3: Lei sostiene l'integrazione con gli attuali MES?
Sì, forniamoSECS/GEM, OPC-UA o Modbus personalizzatiinterfacce.

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