Sistema di elaborazione laser excimer industriale Integrazione flessibile della linea di produzione e parametri completamente personalizzabili
Sistema di elaborazione laser excimer industriale
,Linea di produzione di laser excimer flessibile
,Parametri della macchina per il rivestimento UV personalizzabili
Questo sistema di elaborazione laser excimer industriale è progettato per la microfabricazione ad alta precisione, il ricottamento dei semiconduttori e il disegno di pellicole sottili.Supporta la piena integrazione in linee di produzione automatizzate con monitoraggio in tempo realeIl sistema dispone di una sorgente excimer sigillata a gas con ottica a lunga durata e controllo dei processi assistito dall'IA.
- Unità di sorgente laser excimer
- Modulo di modellazione e omogeneizzazione del fascio
- Stagione di scansione XY ad alta velocità o unità di proiezione della maschera
- Robot di movimentazione del substrato in linea (larghezza del binario personalizzabile)
- Sistema di gestione dei gas di scarico
- PC di controllo del processo con gestore di ricette
| Parametro | Intervallo di valori (standard) | Opzione di personalizzazione |
|---|---|---|
| Lunghezza d'onda | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Commutabile a più lunghezze d'onda (su misura) |
| Energia massima dell'impulso | 0.5 - 1200 mJ | Fino a 2000 mJ (su misura) |
| Frequenza di impulso | 1 - 6000 Hz | Fino a 10 kHz (su misura) |
| Potenza media | 5 - 300 W | Disponibile scalabilità personalizzata |
| Dimensione del raggio (uscita) | 10 × 10 mm | Legno rettangolare fino a 50×50 mm (su misura) |
| Omogeneità del fascio | < ± 3% (σ) | < ± 1% (ottica su misura) |
| Integrazione della linea di produzione | SMEMA/SECS/GEM | Protocollo PLC personalizzato (custom) |
- Acciaio a base di silicio per display avanzati (LTPS)
- MEMS e taglio di wafer a semiconduttore
- Attivazione della superficie del polimero
- Micro-strutturazione dei dispositivi medici
- Perforazione a PCB flessibile
Offriamopersonalizzazione completadi selezione della lunghezza d'onda, energia di impulso, dimensioni del campo di scansione, miscela di gas, metodo di raffreddamento (aria/acqua/chiller) e protocollo di comunicazione della linea di produzione.Su richiesta sono disponibili anche bracci di distribuzione del raggio e involucri di classe 1..
- > 2000 ore di vita del gas (miscela di gas ottimizzata)
- Stabilizzazione energetica integrata (feedback in tempo reale)
- Diagnostica remota e manutenzione predittiva
- Basso costo di proprietà (LOO) con modalità di bypass di risparmio di gas
- Progettazione modulare compatta per la riconfigurazione rapida della linea
- Supporto tecnico 24 ore su 24, 7 giorni su 7 (telefono/remote)
- Installazione in loco e integrazione della linea di produzione
- Formazione personalizzata per i vostri ingegneri
- Garanzia estesa fino a 5 anni
- Programma di rifornimento di gas e di ristrutturazione dell'ottica
- Sigillato in un contenitore protetto dall'umidità
- Casella ottica sigillata sotto vuoto
- Spedizioni via mare o via aerea con tracciamento in tempo reale
- Le casse da esportazione soddisfano la norma ISPM-15