Rivestimento automatico a 12 stazioni ad alta precisione per la deposizione di pellicole di semiconduttori e perovskiti personalizzabili
Coiutore automatico a 12 stazioni
,macchine per la deposizione di pellicole semiconduttrici
,apparecchiature per il rivestimento a rotazione con perovskite
Questa spalmatrice a 12 stazioni è progettata perdeposizione di film sottile ad alto rendimento, supportando wafer, vetro e substrati flessibili. Ciascuna stazione offre impostazioni indipendenti di velocità, accelerazione e tempo di rivestimento con controllo a circuito chiuso che raggiunge una precisione di ±1 giri/min.Il numero di stazioni, il metodo di erogazione, le dimensioni della camera e il sistema di scarico sono tutti personalizzabili, rendendolo ideale sia per la ricerca e sviluppo che per la produzione pilota.
| Parametro | Valore/Intervallo | Opzione di personalizzazione |
|---|---|---|
| Numero di stazioni | 12 | Personalizzabile: 4 / 8 / 12 / 16 stazioni |
| Gamma di velocità | 100 - 10.000 giri al minuto | Estendibile a 12.000 giri/min |
| Gamma di accelerazione | 50 - 10.000 giri/min./s | Personalizzabile |
| Precisione della velocità | ±1 giro/min | - |
| Dimensione massima del substrato | diametro 150mm | Personalizzabile fino a 200 mm |
| Materiale della camera | PP/PTFE/acciaio inossidabile 316L | Materiali di contatto personalizzabili |
| Controllo ambientale | Scarico e spurgo disponibili | Modulo di spurgo N₂ personalizzabile |
| Memorizzazione del programma | Oltre 1000 ricette | - |
| Alimentazione elettrica | CA 220 V/50 Hz | Personalizzabile a 110 V/60 Hz |
- Film per celle solari in perovskite
- Rivestimento fotoresist (litografia a semiconduttore)
- Film sottili sol-gel
- Strati che emettono OLED e punti quantici
- Rivestimenti per biosensori
- Personalizzabile per substrati non planari o flessibili
- Personalizzazione a livello di sistema e di processo
- Numero di stazioni, layout, percorso di dispensazione
- Dimensioni e materiale della camera (resistente agli acidi, resistente ai solventi)
- Sistema automatico di pulizia e recupero dei solventi di scarto
- Moduli di polimerizzazione post-rivestimento di riscaldamento/UV/IR
- Integrazione interfaccia dati MES/ERP di fabbrica
- 12 stazioni guidate in modo indipendentecon motori e controllo separati
- Elevata risposta in accelerazione- raggiunge la velocità impostata in <0,5 secondi
- Programmazione dispensazioni multipunto- supporta l'erogazione dinamica/statica
- Prevenzione della contaminazione crociata- canali di scarico indipendenti per stazione
- Richiamo della ricetta con un cliccon avvio opzionale della scansione dei codici a barre
- Interblocco di sicurezza e logica di arresto di emergenza personalizzabili
- Supporto remoto globale (TeamViewer/VPN)
- Installazione e formazione in loco (opzionale)
- Consulenza sui processi: modellazione di viscosità/velocità/spessore
- Magazzino ricambi locale -disponibile kit ricambi personalizzabile
- Garanzia 18 mesi (esclusi danni intenzionali)
- Custodia in legno antiurto (conforme allo standard ISTA)
- Indicatore di essiccante e umidità incluso all'interno
- Modalità di spedizione: marittima/aerea/terrestre -etichettatura di esportazione e certificato di fumigazione personalizzabili disponibili
- Tempi di consegna: 4 settimane per i modelli standard, 6-8 settimane per i modelli personalizzati