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Spin Coater Automatico a 24 Stazioni con Erogazione Personalizzabile e Velocità di Rotazione per Elevata Uniformità e Zero Contaminazione Incrociata
Dettagli:
| Luogo di origine: | Cina |
| Marca: | OSMANUV |
| Certificazione: | ISO9001 |
| Numero di modello: | Specifica |
Termini di pagamento e spedizione:
| Quantità di ordine minimo: | 1 insieme |
|---|---|
| Prezzo: | Negoziabile |
| Imballaggi particolari: | Imballaggio in legno |
| Tempi di consegna: | 30 giorni |
| Capacità di alimentazione: | Negoziazione |
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Informazioni dettagliate |
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| Durabilità del rivestimento: | Alta durabilità | Sorgente luminosa: | Luce ir |
|---|---|---|---|
| Utilizzo: | Stampante per carta Stampante per etichette Stampante per schede | Spessore del rivestimento: | regolabile |
| Modello: | OSM-XT-450T | Capacità produttiva: | 4800pcs/8h |
| punti chiave di vendita: | Rivestimento di pasta da pasta | Potenza di lavoro: | 2.4kw |
| Evidenziare: | Spalmatrice a rotazione completamente automatica,spalmatrice per stampaggio polpa a 24 stazioni,spalmatrice a rotazione con erogazione personalizzabile |
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Descrizione di prodotto
PROCESSORE 24 giri completamente automatico da ricerca e sviluppo alla produzione.
Questo...Spin coater a 24 stazioniciascuna delle 24 posizioni di rivestimento indipendenti può essere caricata con substrati fino a 200 mm di diametro (o 156×156 mm quadrati).Il sistema completa sequenzialmente la dispensa, accelerazione, spin-hold, e step di rimozione delle perline via undatabase di ricette personalizzabile.
Principali vantaggi
- Contaminazione incrociata zero- bolle e scarichi individuali per ogni stazione
- Uniformità elevata< ± 3% a 3000 giri/min su tutte le stazioni
- Personalizzazione completa- materiale di substrato (Si, vetro, polimero, metallo), depurazione dei gas (N2, aria asciutta pulita) e fasi di risciacquo dopo la rotazione
Parametri tecnici
| Parametro | Valore standard | Intervallo personalizzabile |
|---|---|---|
| Numero di stazioni | 24 | 12 / 16 / 24 / 32 (personalizzabile) |
| Dimensione massima del substrato | 200 mm di diametro o 156×156 mm quadrati | 50 - 300 mm (dispositivo per la trasformazione) |
| Intervallo di velocità di rotazione | 0 - 6000 giri/min | 0 - 10000 giri/min |
| Accuratezza della velocità | ± 1 giri al minuto | - Non lo so. |
| Accelerazione di rotazione | 200 - 10000 giri/s | con una velocità massima di 20000 rpm/s |
| Uniformità del rivestimento | < ± 3% @ 3000 giri/min | ± 2% disponibile |
| Gas di processo | 1 canale (N2) | 2 - 4 canali di gas (personalizzabili) |
| Tipologie di dispensa | Statico / dinamico | Fino a 3 passaggi di erogazione per ricetta |
| Flusso di scarico per stazione | 45 m3/h | 30 - 80 m3/h (personalizzabile) |
| Ambiente | Compatibile con la stanza pulita di classe 10 | Opzione di classe 1 |
| Fornitore di alimentazione | 400V / 50 Hz / 3P | 208V - 480V (personalizzabile) |
| Dimensioni della macchina (W × D × H) | 2100 × 1200 × 1900 mm | larghezza/profonditàpersonalizzabile |
Integrazione della linea di produzione
Quando integrato in una linea di rivestimento, il rivestimento a rotazione a 24 stazioni funziona in genere con:
- Caricatore / scaricatore(da rivista a rivista o da cassetta a cassetta)Interfaccia personalizzabile
- Stazione di preallineamento- allineamento opzionale dei bordi/nocciola
- Spin coater a 24 stazioni- unità principale
- Rimozione di perline (EBR)- stazione integrata o separata
- Placca da forno post-rivestimento- caldaia o IR (programmabile)
- Stazione di raffreddamento- attivo o passivo
- Sistema centrale di distribuzione di sostanze chimiche- 1-12 bottiglie con riempimento automatico
- Sistema di recupero dei gas di scarico e dei solventi- personalizzabile per fotoresistenza, PI, PMMA, ecc.
Applicazioni
- Semiconduttori- rivestimento fotoresistente (i-line, KrF, ArF)
- Cellule solari di perovskite- deposizione uniforme su grandi superfici
- OLED / QLED- strati di iniezione/trasporto a fori
- MEMS e microfluidica- SU-8, PDMS, rivestimenti polimerici
- Linea pilota di R & S- sviluppo di processi multi-sottostrato
- Substrati di vetro / zaffiro / ceramica- planarizzazione della superficie
- Batteria al litio- rivestimento di liquami su separatore o elettrodo
Opzioni di personalizzazione
Questo...Il rivestimento a 24 stazioni è altamente personalizzabilenei seguenti aspetti:
- Dimensione e forma del substrato- di forma rotonda, quadrata, rettangolare o tagliata su misura
- Disegno di Chuck- a vuoto, a pinza meccanica o a mandrino elettrostatico
- Materiale della ciotola- PP, PVDF, PTFE o acciaio inossidabile (per solventi aggressivi)
- Dispenser nozzles- fino a 3 ugelli indipendenti per stazione,movimento XY personalizzabile
- Gas di processo- N2, aria secca pulita, Ar o gas di formazione
- Sciacquare la parte posteriore e rimuovere le perline di bordo- programmabile
- Libreria di ricette- immagazzinamento illimitato per 1000+ ricette personalizzate
- Interfaccia- SMEMA, SECS/GEM, OPC-UA o Modbus TCP
- Sicurezza- configurazione a prova di esplosione per solventi infiammabili
Caratteristiche chiave
- Monitoraggio indipendente delle stazioni- ogni stazione traccia la tendenza dello spessore della pellicola e la cronologia degli allarmi
- Blocco attivo del coperchio- impedisce il funzionamento quando il coperchio della ciotola è aperto
- Acciaio per la raccolta di goccioline di solvente- riduce la frequenza della manutenzione
- Scarica veloce della ricetta- < 1 secondo per cambiare tutte le 24 stazioni
- Registrazione dei dati- Esportazione CSV per stazione (velocità di rotazione rispetto al tempo)
- Progettazione a bassa vibrazione- < 0,5 μm/s2 alla velocità massima
- Modalità di risparmio energetico- velocità di scarico ridotta automaticamente in stato di vuoto
Supporto e servizi
- Guida all'installazione a distanza- videochiamata inclusa
- Supporto tecnico 24 ore su 24, 7 giorni su 7- team di ingegneri di guardia (inglese/cinese)
- Formazione in loco- facoltativo (3 giorni)
- Garanzia di 12 mesi- prorogato fino a 36 mesi
- Disponibilità di ricambi- 5 anni di garanzia
- Sostegno allo sviluppo dei processi- ottimizzazione gratuita delle ricette per il vostro materiale
Imballaggio e spedizione.
| Articolo | Metodo |
|---|---|
| Imballaggio | Cassa di legno compensato sigillata sotto vuoto + schiuma antistatica (VCI) |
| Termine di spedizione | FOB / CIF / DDP (scelta al momento della quotazione) |
| Tempo di consegna | 45 - 60 giorni lavorativi (ad hoc: +15 giorni) |
| Trasporti | Contenitore HC da 40' (1 unità per contenitore) o trasporto aereo per ordini urgenti |
| Documenti | Fattura commerciale, elenco di imballaggio, dichiarazione CE, manuale d'uso (digitale + stampato) |
Domande frequenti
D1: È possibile rivestire contemporaneamente diversi substrati su diverse stazioni?
R: Sì, ogni stazione funziona in modo indipendente. Per esempio, la stazione 1-6 può rivestire wafer da 4 pollici, mentre la stazione 7-12 rivestisce wafer da 6 pollici --Completamente personalizzabile.
D2: La macchina supporta materiali ad alta viscosità (> 1000 cP)?
R: Sì.personalizzabilemotori a rotazione lenta e ad alta coppia (fino a 1,5 N*m) per fotoresisti spessi o poliamidi.
D3: Quanto tempo ci vuole per passare da un fotoresistente a un altro?
A: con la facoltativaDisegno della ciotola per pulizia rapida personalizzabile, il cambio < 10 minuti per stazione.
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